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                邵武華新化工有限公司

                    產品中心

                 

                電子級氫氟酸

                 

                狀:

                分子式HF 分子量:20.01。

                無色透明溶液,有強烈刺激性氣味,有毒,并有強烈的腐蝕性。

                途:

                電子化學品用于超大規模集成電路芯片,太陽能電池,LED和TFT-LCD面板制造過程的蝕刻和清洗,原子能工業化學試劑。

                    產品標準:

                項目

                指    標

                EL級

                UP級

                UP-S級

                氫氟酸(HF), w/%

                49.0-49.5

                49.0-49.5

                49.0-49.5

                顆粒(≥ 0.5 μm ) 個/ml ≤

                25

                25

                25

                顆粒(≥ 0.3 μm ) 個/ml ≤

                -

                150

                150

                顆粒(≥ 0.2 μm) 個/ml ≤

                -

                300

                300

                    色度Color, 黑曾≤

                10

                10

                10

                    硅氟酸, H2SiF6 ppm ≤

                100

                20

                20

                    氯化物, Cl ppm ≤

                5

                5

                0.5

                    硝酸鹽, NO3 ppm ≤

                3

                3

                0.3

                    磷酸鹽, PO4 ppm ≤

                1

                1

                0.1

                    亞硫酸鹽, SO3 ppm ≤

                5

                2

                0.2

                    硫酸鹽, SO4 ppm≤

                0.5

                0.2

                 

                 

                 

                 

                ppb

                    鋅( Zn )

                50

                10

                10

                    鈉( Na )

                200

                10

                1

                    鎂( Mg )  

                200

                10

                1

                鉑( Pt ) 、鉀( K )、鈦( Ti)、

                鋁( Al ) 、鉬( Mo ) 、鋇( Ba )

                    鈣( Ca )、鐵( Fe )    

                100

                10

                1

                鉛( Pb ) 、砷( As ) 、鎘( Cd )

                鎳( Ni )  

                50

                10

                1

                錫( Sn ) 、錳( Mn ) 、鉻( Cr )

                鈷( Co )、銅( Cu ) 、鎵( Ga )

                    鍺( Ge )           

                20

                10

                1

                    金( Au ) 、鈹( Be ) 、鉍( Bi )

                    鋰( Li ) 、銀( Ag )             

                20

                5

                1

                    鍶( Sr ) 、鉈( Tl )

                    銻( Sb ) 、礬( V )    

                -

                10

                1

                 

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